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影響低溫等離子處理機放電的匹配器的分析
- 分類：業界動態
- 作者：等離子清洗機-CRF plasma等離子設備-等離子表面處理機廠家-誠峰智造
- 來源：低溫等離子清洗機生產廠家
- 發布時間：2022-11-29
- 訪問量：
【概要描述】影響低溫等離子處理機放電的匹配器的分析： ? ? ? ?低溫等離子處理機不放電或者放電忽高忽低，通常是阻抗匹配出現了情況。等離子發生器在能量傳遞中，如果反應腔和電極（以下簡稱負載）阻抗和傳輸線特征阻抗不相等，在傳輸過程中會發生反射，部分能量通過加熱丟失，而不是所有能量被低溫等離子體處理器的負載吸收，將會直接關系等離子體表面處理的成效。 ? ? ? ?在高頻放電回路中，為了保證用于放電區的功率消耗保護振蕩器，常規的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設置阻抗匹配網絡，以便按不同放電條件進行調節，使高頻發生器的輸出阻抗與負載阻抗能夠匹配，讓等離子清洗機放電穩定，工作效率高。 ? ? ? ?影響低溫等離子處理機匹配效果的幾個主要因素，低溫等離子處理機的匹配器，就好比是等離子發生器的伴侶，兩者要相互匹配，不可用小功率的匹配器去適應大功率的等離子發生器，除此之外，要想等離子清洗機取得理想的匹配效果，還需注意以下幾個方面。 1.在設計低溫等離子處理機的反應腔體和電極的時候，要與匹配器供應商充分溝通相關技術參數，以滿足plasma的匹配要求； 2.低溫等離子處理機在安裝匹配器的時候，應盡量靠近反應腔體和電極，縮短連線，減少功率損耗； 3.氣體流量、真空度、處理的產品材質和數量等因素都可能影響阻抗匹配，需根據實際情況做調整。 ?
影響低溫等離子處理機放電的匹配器的分析
【概要描述】影響低溫等離子處理機放電的匹配器的分析：
? ? ? ?低溫等離子處理機不放電或者放電忽高忽低，通常是阻抗匹配出現了情況。等離子發生器在能量傳遞中，如果反應腔和電極（以下簡稱負載）阻抗和傳輸線特征阻抗不相等，在傳輸過程中會發生反射，部分能量通過加熱丟失，而不是所有能量被低溫等離子體處理器的負載吸收，將會直接關系等離子體表面處理的成效。
? ? ? ?在高頻放電回路中，為了保證用于放電區的功率消耗保護振蕩器，常規的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設置阻抗匹配網絡，以便按不同放電條件進行調節，使高頻發生器的輸出阻抗與負載阻抗能夠匹配，讓等離子清洗機放電穩定，工作效率高。
? ? ? ?影響低溫等離子處理機匹配效果的幾個主要因素，低溫等離子處理機的匹配器，就好比是等離子發生器的伴侶，兩者要相互匹配，不可用小功率的匹配器去適應大功率的等離子發生器，除此之外，要想等離子清洗機取得理想的匹配效果，還需注意以下幾個方面。
1.在設計低溫等離子處理機的反應腔體和電極的時候，要與匹配器供應商充分溝通相關技術參數，以滿足plasma的匹配要求；
2.低溫等離子處理機在安裝匹配器的時候，應盡量靠近反應腔體和電極，縮短連線，減少功率損耗；
3.氣體流量、真空度、處理的產品材質和數量等因素都可能影響阻抗匹配，需根據實際情況做調整。
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- 分類：業界動態
- 作者：等離子清洗機-CRF plasma等離子設備-等離子表面處理機廠家-誠峰智造
- 來源：低溫等離子清洗機生產廠家
- 發布時間：2022-11-29 11:15
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影響低溫等離子處理機放電的匹配器的分析：
低溫等離子處理機不放電或者放電忽高忽低，通常是阻抗匹配出現了情況。等離子發生器在能量傳遞中，如果反應腔和電極（以下簡稱負載）阻抗和傳輸線特征阻抗不相等，在傳輸過程中會發生反射，部分能量通過加熱丟失，而不是所有能量被低溫等離子體處理器的負載吸收，將會直接關系等離子體表面處理的成效。
在高頻放電回路中，為了保證用于放電區的功率消耗保護振蕩器，常規的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設置阻抗匹配網絡，以便按不同放電條件進行調節，使高頻發生器的輸出阻抗與負載阻抗能夠匹配，讓等離子清洗機放電穩定，工作效率高。
影響低溫等離子處理機匹配效果的幾個主要因素，低溫等離子處理機的匹配器，就好比是等離子發生器的伴侶，兩者要相互匹配，不可用小功率的匹配器去適應大功率的等離子發生器，除此之外，要想等離子清洗機取得理想的匹配效果，還需注意以下幾個方面。
1.在設計低溫等離子處理機的反應腔體和電極的時候，要與匹配器供應商充分溝通相關技術參數，以滿足plasma的匹配要求；
2.低溫等離子處理機在安裝匹配器的時候，應盡量靠近反應腔體和電極，縮短連線，減少功率損耗；
3.氣體流量、真空度、處理的產品材質和數量等因素都可能影響阻抗匹配，需根據實際情況做調整。
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